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韩国Line Tech气体质量流量控制器

产品型号:
M30系列
产品报价:
产品特点:
韩国Line Tech气体质量流量控制器MFC为Mass Flow Controller的缩写。能够在较大的量程范围内对气体的质量流量进行精密测量和控制。
  M30系列韩国Line Tech气体质量流量控制器的详细资料:

韩国LINE TECH M30系列气体质量流量控制器广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVDCVDMOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入,直拉式晶炉,精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。

韩国LINE TECH M30系列气体质量流量控制器主要参数:

流量范围:               0.005-125(slpm)

响应时间:               ≤2

精    度:        ≤1%

重 复 性:        ±0.25

输出信号:        0-5vdc或4-20mA

供电电压:        15-28vdc

温度范围:        0-50℃

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